扫描电子显微镜（SEM）使用聚焦电子束扫描样品，获得带有样品形貌和成分信息的图像。

蔡司CSEM（采用热电子源的传统SEM）和FE-SEM（带场发射电子源的场发射SEM）提供高分辨率成像和出色的材料衬度。

● 高分辨率表面敏感信息和材料衬度。

● 广泛应用于纳米技术、材料研究、生命科学、半导体、原材料和工业领域。